產品描述

●該設備為公司根據客戶工藝需求定製，與中國科學院某研究所國家重點實驗室聯合研製，先後獲得獎勵3項，聯合申報國家 2項，用於固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領域，服務于科研和國家重大項目需求，具有多功能、高穩定和國內首創的特點，歡迎各位聯合研製。

 

●設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統，可根據客戶使用需求定製。

●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據實際需求定製）

●真空系統：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統；

●真空抽速：4000-7000L/S，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據客戶選擇主泵確定）；

●磁控靶組件：4個矩形靶，4個圓柱靶，根據客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈衝直流濺射電源；

●離子源：2套線性離子源，匹配專用電源；

●氣路：4路反應氣體，進口質量流量計，1路毛細保護氣路；

●烘烤溫度：400℃，不鏽鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結構；

●工件盤：導軌多工位行星工件盤2套（標準配置為12工位和24工位，可擴展數百件工件共同沉積），工件盤裝夾移動小車一輛；

●控制系統：西門子PLC+西門子人機界面+工業控制計算機。

 

●特別說明：該設備為公司與中科院某所合作研製，獲得國家科技進步、國家科技發明獎、機械工業科技進步 獎和中科院重大設備專項等獎勵，公司提供一攬子技術解決方案，同時與合作夥伴共享知識產權。