產品描述

●本設備在成都光學鍍膜機產業鏈發達基礎上，在核心部件、控制系統和結構設計上吸收國際 產品技術精髓，開發出surpass系列產品。本設備適用於高精密光通訊產品鍍制光學膜: 電學膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠（樹脂）件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜，能夠根據客戶需求定製。

 

●形式：φ650-3500mm，箱式一體機，立式前開門，蒸發室和抽氣室為整體焊接式，一體機系統。

●真空系統：極限真空8X10-5Pa，主泵為復合分子泵低溫泵擴散泵可選。

●真空測量：配三路數字復合真空計，均採用安全防爆金屬測量規。

●工件架系統：客戶需求定製，轉速3～30rpm變頻可調，工件盤為球形和行星工件盤可選。

●烘烤系統：不鏽鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和PID控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過沖不超過2℃。

●電子束蒸發源：E型電子束蒸發源系統（E型）1-2套，主體有屏蔽罩，配置獨立高壓控制櫃。

●旋轉蒸發源：電動轉位和點動轉位，配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。

●電阻蒸發源：2套電阻蒸發源。（選配）

●膜厚測試系統：配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探頭。

●離子源輔助沉積系統：一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統）。

●控制系統：成熟可靠的真空鍍膜控制系統，工業級10英吋觸摸屏（工控機）和西門子PLC，能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統，採用聲光報警。

●說明：根據用戶要求，公司愿與客戶聯合研發，共享知識產權，公司致力于工藝與設備完美匹配。