產品描述

●設備主要由真空腔體、真空系統、工件盤系統、烘烤系統、濺射系統、過渡倉、磁力機械手、離子轟擊系統、充氣系統和在線測量系統組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統，可根據客戶使用需求定製。

●真空腔體：φ650X700雙層水冷；（可根據實際需求定製）

●真空系統：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復合真空系統；

●真空抽速：1600L/S，進口全量程復合真空計，全金屬防爆真空規；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據客戶選擇主泵確定）

●磁控靶組件：4個矩形靶，3個圓形靶，根據客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈衝直流濺射電源；

●離子源：1套線性離子源，匹配專用電源；

●氣路：4路反應氣體，進口質量流量計，1路毛細保護氣路；

●烘烤溫度：300℃，不鏽鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結構；

●工件盤：導軌多工位行星工件盤2套，工件盤裝夾移動小車一輛；

●控制系統：西門子PLC+西門子人機界面+工業控制計算機。