產品描述

●形式：箱式一體機，立式前開門，蒸發室和抽氣室為整體焊接式，沉積腔採用SUS304真空氬弧焊成型不，一體機系統，可連接單排雙工位手套箱，中間用DN150超高真空插板閥隔斷。

●真空系統：極限真空5X10-4Pa，主泵為復合分子泵，抽速600L/S,前級泵配置直聯泵，主閥匹配。

●真空測量：配數字復合真空計，均採用防爆金屬測量規。

●工件架系統：客戶需求定製，可放入4英吋掩模版，轉速3～30rpm變頻可調。

●烘烤系統：匹配數字功率控制器和PID控制模塊，*高烘烤溫度300℃。

●電阻蒸發源：水冷電極引入，2套電阻蒸發源，蒸發功率5KW，配置8KWE型電子槍1套，膜厚測試系統。匹配石英膜厚儀，可與擋板聯動。

●控制系統：成熟可靠的真空鍍膜控制系統，工業級10英吋觸摸屏和西門子PLC，能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程；支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統，採用聲光報警。

●輔助系統：配置冷水機1台，空壓機1台。

●說明：本系統含單排雙工位手套箱1台，單邊4個手套，有效長度1.8米。