产品描述

●本设备在成都光学镀膜机产业链发达基础上，在核心部件、控制系统和结构设计上吸收国际 产品技术精髓，开发出surpass系列产品。本设备适用于高精密光通讯产品镀制光学膜: 电学膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片、玻璃片及塑胶（树脂）件上镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系的镀膜，能够根据客户需求定制。

 

●形式：φ650-3500mm，箱式一体机，立式前开门，蒸发室和抽气室为整体焊接式，一体机系统。

●真空系统：极限真空8X10-5Pa，主泵为复合分子泵低温泵扩散泵可选。

●真空测量：配三路数字复合真空计，均采用安全防爆金属测量规。

●工件架系统：客户需求定制，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选。

●烘烤系统：不锈钢铠装加热器匹配数字功率控制器和PID控制模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超过2℃。

●电子束蒸发源：E型电子束蒸发源系统（E型）1-2套，主体有屏蔽罩，配置独立高压控制柜。

●旋转蒸发源：电动转位和点动转位，配置无氧铜坩埚和石墨坩埚各一套。

●电阻蒸发源：2套电阻蒸发源。（选配）

●膜厚测试系统：配瑞士inficon石英膜厚在线测量系统， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探头。

●离子源辅助沉积系统：一套（选配离子源或高压离子轰击系统）。

●控制系统：成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏（工控机）和西门子PLC，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。

●说明：根据用户要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权，公司致力于工艺与设备完美匹配。